Kohët e fundit, shumë miq pyetën për karakteristikat e objektivave të spërkatjes së molibdenit.Në industrinë elektronike, për të përmirësuar efikasitetin e spërkatjes dhe për të siguruar cilësinë e filmave të depozituar, cilat janë kërkesat për karakteristikat e objektivave të spërkatjes së molibdenit?Tani do të na shpjegojnë ekspertët teknikë nga RSM.
1. Pastërti
Pastërtia e lartë është një kërkesë karakteristike themelore e objektivit të spërkatjes së molibdenit.Sa më e lartë të jetë pastërtia e objektivit të molibdenit, aq më e mirë është performanca e filmit të spërkatur.Në përgjithësi, pastërtia e objektivit të spërkatjes së molibdenit duhet të jetë së paku 99,95% (fraksioni masiv, i njëjtë më poshtë).Megjithatë, me përmirësimin e vazhdueshëm të madhësisë së nënshtresës së qelqit në industrinë LCD, gjatësia e instalimeve elektrike kërkohet të zgjatet dhe gjerësia e linjës kërkohet të jetë më e hollë.Për të siguruar uniformitetin e filmit dhe cilësinë e instalimeve elektrike, pastërtia e objektivit të spërkatjes së molibdenit gjithashtu kërkohet të rritet në përputhje me rrethanat.Prandaj, sipas madhësisë së nënshtresës së xhamit të spërkatur dhe mjedisit të përdorimit, pastërtia e objektivit të spërkatjes së molibdenit kërkohet të jetë 99,99% - 99,999% ose edhe më e lartë.
Objektivi i spërkatjes së molibdenit përdoret si burim katodë në spërkatje.Papastërtitë në të ngurta dhe oksigjeni dhe avujt e ujit në pore janë burimet kryesore të ndotjes së filmave të depozituar.Përveç kësaj, në industrinë elektronike, për shkak se jonet e metaleve alkali (Na, K) janë të lehta për t'u bërë jone të lëvizshëm në shtresën izoluese, performanca e pajisjes origjinale zvogëlohet;Elementë të tillë si uraniumi (U) dhe titani (TI) do të lëshohen me rreze X, duke rezultuar në prishje të butë të pajisjeve;Jonet e hekurit dhe nikelit do të shkaktojnë rrjedhje të ndërfaqes dhe rritje të elementeve të oksigjenit.Prandaj, në procesin e përgatitjes së objektivit të spërkatjes së molibdenit, këto elemente të papastërtive duhet të kontrollohen rreptësisht për të minimizuar përmbajtjen e tyre në objektiv.
2. Madhësia e grurit dhe shpërndarja e madhësisë
Në përgjithësi, objektivi i spërkatjes së molibdenit është një strukturë polikristaline dhe madhësia e kokrrës mund të variojë nga mikron në milimetër.Rezultatet eksperimentale tregojnë se shpejtësia e spërkatjes së objektivit të kokrrave të imta është më e shpejtë se ajo e objektivit të kokrrës së trashë;Për objektivin me diferencë të vogël të madhësisë së kokrrizave, shpërndarja e trashësisë së filmit të depozituar është gjithashtu më uniforme.
3. Orientimi i kristalit
Për shkak se atomet e synuara janë të lehta për t'u spërkatur në mënyrë preferenciale përgjatë drejtimit të rregullimit më të afërt të atomeve në drejtimin gjashtëkëndor gjatë spërkatjes, për të arritur shpejtësinë më të lartë të spërkatjes, shpejtësia e spërkatjes shpesh rritet duke ndryshuar strukturën kristalore të objektivit.Drejtimi i kristalit i objektivit gjithashtu ka një ndikim të madh në uniformitetin e trashësisë së filmit të spërkatur.Prandaj, është shumë e rëndësishme të merret një strukturë e caktuar e synuar e orientuar nga kristal për procesin e spërkatjes së filmit.
4. Densifikimi
Në procesin e veshjes me spërkatje, kur bombardohet objektivi i spërkatjes me densitet të ulët, gazi që ekziston në poret e brendshme të objektivit lëshohet papritmas, duke rezultuar në spërkatjen e grimcave ose grimcave të objektivit me madhësi të madhe, ose bombardohet materiali i filmit. nga elektronet dytësore pas formimit të filmit, duke rezultuar në spërkatje të grimcave.Shfaqja e këtyre grimcave do të zvogëlojë cilësinë e filmit.Për të reduktuar poret në masën e ngurtë të synuar dhe për të përmirësuar performancën e filmit, objektivi i spërkatjes në përgjithësi kërkohet të ketë një densitet të lartë.Për objektivin e spërkatjes së molibdenit, dendësia relative e tij duhet të jetë më shumë se 98%.
5. Lidhja e objektivit dhe shasisë
Në përgjithësi, objektivi i spërkatjes së molibdenit duhet të lidhet me shasinë pa oksigjen të bakrit (ose aluminit dhe materialeve të tjera) përpara spërkatjes, në mënyrë që përçueshmëria termike e objektivit dhe e shasisë të jetë e mirë gjatë procesit të spërkatjes.Pas lidhjes, duhet të kryhet inspektimi tejzanor për të siguruar që zona jo-lidhëse e të dyjave është më pak se 2%, në mënyrë që të plotësohen kërkesat e spërkatjes me fuqi të lartë pa rënë.
Koha e postimit: 19-07-2022