Vitet e fundit, me përparimin e teknologjisë së qarkut të integruar (IC), aplikimet e ndërlidhura të qarqeve të integruara janë zhvilluar me shpejtësi.Objektivi i spërkatjes së aliazhit të aluminit me pastërti ultra të lartë, si një material mbështetës në prodhimin e ndërlidhjeve metalike të qarkut të integruar, është bërë një temë e nxehtë në kërkimet e fundit vendase.redaktori i RSM do të na tregojë karakteristikat e objektivit të spërkatjes së aliazhit të aluminit me pastërti të lartë.
Për të përmirësuar më tej efikasitetin e spërkatjes së objektivit të spërkatjes me magnetron dhe për të siguruar cilësinë e filmave të depozituar, një numër i madh eksperimentesh tregojnë se ekzistojnë kërkesa të caktuara për përbërjen, mikrostrukturën dhe orientimin e kokrrizave të objektivit të spërkatjes së aliazhit të aluminit me pastërti ultra të lartë.
Madhësia e kokrrizave dhe orientimi i kokrrizave të objektivit kanë ndikim të madh në përgatitjen dhe vetitë e filmave IC.Rezultatet tregojnë se shkalla e depozitimit zvogëlohet me rritjen e madhësisë së kokrrizave;Për objektivin e spërkatjes me të njëjtën përbërje, shpejtësia e spërkatjes së objektivit me madhësi të vogël kokrriza është më e shpejtë se ajo e objektivit me madhësi të madhe kokrriza;Sa më uniforme të jetë madhësia e kokrrizave të objektivit, aq më uniforme është shpërndarja e trashësisë së filmave të depozituar.
Nën të njëjtat parametra të instrumentit dhe procesit të spërkatjes, shkalla e spërkatjes së objektivit të aliazhit Al Cu rritet me rritjen e densitetit atomik, por në përgjithësi është i qëndrueshëm në një interval.Efekti i madhësisë së kokrrizave në shpejtësinë e spërkatjes është për shkak të ndryshimit të densitetit atomik me ndryshimin e madhësisë së kokrrizave;Shkalla e depozitimit ndikohet kryesisht nga orientimi i kokrrizave të objektivit të aliazhit Al Cu.Në bazë të sigurimit të proporcionit të (200) planeve kristalore, rritja e proporcionit të (111), (220) dhe (311) planeve kristalore do të rrisë shkallën e depozitimit.
Madhësia e kokrrizave dhe orientimi i kokrrizave të objektivave të aliazhit të aluminit me pastërti ultra të lartë rregullohen dhe kontrollohen kryesisht nga homogjenizimi i shufrës, puna e nxehtë dhe pjekja e rikristalizimit.Me zhvillimin e madhësisë së vaferës në 20,32 cm (8 in) dhe 30,48 cm (12 in), madhësia e synuar po rritet gjithashtu, gjë që shtron kërkesa më të larta për objektivat e spërkatjes së aliazhit të aluminit me pastërti ultra të lartë.Për të siguruar cilësinë dhe rendimentin e filmit, parametrat e përpunimit të synuar duhet të kontrollohen rreptësisht për ta bërë mikrostrukturën e synuar uniforme dhe orientimi i kokrrizave duhet të ketë tekstura të forta (200) dhe (220) të rrafshët.
Koha e postimit: Qershor-30-2022