Veshja me vakum i referohet ngrohjes dhe avullimit të burimit të avullimit në vakum ose spërkatjes me bombardim të përshpejtuar të joneve dhe depozitimit të tij në sipërfaqen e nënshtresës për të formuar një film me një shtresë ose me shumë shtresa.Cili është parimi i veshjes me vakum?Më pas, redaktori i RSM do të na prezantojë atë.
1. Veshje avullimi me vakum
Veshja e avullimit kërkon që distanca midis molekulave të avullit ose atomeve nga burimi i avullimit dhe nënshtresa që do të lyhet duhet të jetë më e vogël se rruga mesatare e lirë e molekulave të gazit të mbetur në dhomën e veshjes, në mënyrë që të sigurohet që molekulat e avullit të avullimi mund të arrijë në sipërfaqen e nënshtresës pa përplasje.Sigurohuni që filmi të jetë i pastër dhe i fortë dhe avullimi nuk do të oksidohet.
2. Veshje me spërkatje me vakum
Në vakum, kur jonet e përshpejtuara përplasen me lëndën e ngurtë, nga njëra anë, kristali dëmtohet, nga ana tjetër, ato përplasen me atomet që përbëjnë kristalin dhe në fund atomet ose molekulat në sipërfaqen e lëndës së ngurtë. spërkat jashtë.Materiali i spërkatur vendoset në nënshtresë për të formuar një shtresë të hollë, e cila quhet spërkatje me vakum.Ka shumë metoda të spërkatjes, ndër të cilat spërkatja me diodë është më e hershme.Sipas objektivave të ndryshëm të katodës, mund të ndahet në rrymë direkte (DC) dhe frekuencë të lartë (RF).Numri i atomeve të spërkatura duke prekur sipërfaqen e synuar me një jon quhet shpejtësia e spërkatjes.Me shpejtësi të lartë të spërkatjes, shpejtësia e formimit të filmit është e shpejtë.Shpejtësia e spërkatjes lidhet me energjinë dhe llojin e joneve dhe llojin e materialit të synuar.Në përgjithësi, shkalla e spërkatjes rritet me rritjen e energjisë së joneve njerëzore, dhe shkalla e spërkatjes së metaleve të çmuara është më e lartë.
Koha e postimit: Korrik-14-2022