Përdorimi i gjerë i materialit të synuar në profesione të ndryshme e bën kërkesën për materialin e synuar gjithnjë e më të lartë.Në vijim ne do prezantoj shkurtimisht ju cilat janë kërkesat primare funksionale të objektivit, hoping për t'ju ndihmuar.
Pastërtia: Pastërtia është një nga treguesit kryesorë funksionalë të objektivit, sepse pastërtia e objektivit ka një ndikim të madh në funksionin e filmit.Por në praktikë, pastërtia e materialit të synuar nuk është e njëjtë.Për shembull, me rritjen e shpejtë të profesionit të mikroelektronikës, madhësia e meshës së silikonit është zhvilluar nga 6 ", 8 "në 12" dhe gjerësia e instalimeve elektrike është ulur nga 0.5um në 0.25um, 0.18um dhe madje 0.13um.Pasi 99,995% e pastërtisë së synuar mund të plotësojë kërkesat teknologjike të 0,35UMIC.Përgatitja e linjës 0.18um kërkon 99.999% ose edhe 99.9999% pastërti të materialit të synuar.
Dendësia: Për të reduktuar porozitetin në lëndën e ngurtë të synuar dhe për të përmirësuar funksionin e filmit spërkatës, objektivi zakonisht kërkohet të ketë një densitet të lartë.Dendësia e synuar ndikon jo vetëm në shpejtësinë e spërkatjes, por edhe në vetitë elektrike dhe optike të filmave.Sa më i lartë të jetë densiteti i synuar, aq më i mirë është funksioni i filmit. Për më tepër, dendësia dhe forca e materialit të synuar u rritën për ta bërë atë më të aftë të përballonte stresin termik gjatë spërkatjes.Dendësia është gjithashtu një nga treguesit e rëndësishëm funksional të substancave të synuara.
Përmbajtja e papastërtive: papastërtitë në lëndën e ngurtë të synuar dhe oksigjeni dhe avujt e ujit në pore janë burimet kryesore të ndotjes së filmave të grumbulluar. Materialet e ndryshme të synuara për qëllime të ndryshme kanë kërkesa të ndryshme për përmbajtje të ndryshme papastërtie.Për shembull, objektivat e aluminit të pastër dhe të lidhjeve të aluminit të përdorura në industrinë e gjysmëpërçuesve kanë kërkesa të veçanta për përmbajtjen e metaleve alkali dhe përmbajtjen e elementit radioaktiv.
Koha e postimit: Qershor-06-2022