Tani gjithnjë e më shumë përdorues kuptojnë llojet e objektivave dheaplikimet e tij, por nënndarja e tij mund të mos jetë shumë e qartë.Tani le tëinxhinier RSM ndaj me tydisa induksione e objektivave të spërkatjes së magnetronit.
Synimi i sputteringut: Target i veshjes së sputteringut metalik, objektivi i veshjes së sputteringut të aliazhit, objektivi i veshjes së sputterimit të qeramikës, objektivi i sputterimit të qeramikës Boride, objektivi i sputterimit të qeramikës karbide, shënjestrimi i sputterimit të qeramikës së nitrideve, objektivi i sputteringut të kronikës së nitrid objektivi, objektivi i spërkatjes së qeramikës sulfide, objektivi i spërkatjes së qeramikës teluride, objektivat e tjerë qeramike, objektivi qeramik i oksidit të silikonit të dopuar me krom (CR SiO), objektivi i fosfidit të indiumit (INP), objektivi i arsenidit të plumbit (pbas), objektivi i arsenidit të indit (InAs).
Gërmimi me magnet ndahet përgjithësisht në dy lloje: spërkatje DC dhe spërkatje RF.Parimi i pajisjeve të spërkatjes DC është i thjeshtë, dhe shpejtësia e tij është gjithashtu e shpejtë kur spërkatni metalin.Gërmimi RF përdoret gjerësisht.Përveç spërkatjes së të dhënave përçuese, ai gjithashtu mund të spërkat të dhëna jopërçuese.Objektivi i spërkatjes mund të përdoret gjithashtu për spërkatjen reaktive për të përgatitur të dhëna të përbërjes si oksidet, nitridet dhe karbidet.Nëse frekuenca RF rritet, ajo do të bëhet spërkatje e plazmës me mikrovalë.Aktualisht, përdoret zakonisht spërkatja e plazmës me mikrovalë të rezonancës së ciklotronit elektronik (ECR).
Koha e postimit: Maj-26-2022